◆「文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業」一環講座◆ ◆「ひびきの半導体アカデミー」『ＭＥＭＳ入門講座』ご案内◆ ひびきの半導体アカデミーは電気学会九州支部協賛で開催しております。 《今回は、2019年2月度開催講座のご案内です》 ■ 開催講座： ＭＥＭＳ入門講座 ■ 講師： 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 教授 江刺 正喜 氏 ■ 開催日時：2019年2月13日（水）10:00～17:30 ■ 会場：北九州学術研究都市 産学連携センター 2F 研修室 ■ 講座概要： 半導体技術によってSiチップ上に回路だけでなくセンサやアクチュエー タ構造などを集積化したMEMS (微小電気機械システム)は、ITをはじめい ろいろなシステムの鍵を握る要素として用いられ、売り上げは13%/年の割 合で増大してきました。 LSI上にウェハ状態でMEMSなどを転写する技術が、高密度・高性能MEMS の異種要素集積化のため開発されてきました。これにはワイヤレス通信の ためのLSI上のマルチフィルタやPZTMEMSスイッチ、安全な看護ロボットな どのための触覚センサネットワーク、マスクレス電子線描画のためのアク ティブマトリックスマルチ電子源、マルチバイオセンサのためのLSI上の ダイアモンド電極アレイなどがあります。 MEMSは多様で標準化しにくいため、低価格で効率の良い開発が求められ ています。このため、組織の壁を越えて、設備や情報を共有する工夫につ いても説明します。 ■ 講座内容： ・第1部 MEMSの基礎・製作工程・要素 1-1．マイクロマシーニングとMEMS 1-2．MEMSの製作工程と設計評価 1-2.1 パターニング 1-2.2 エッチング 1-2.3 堆積と応力制御 1-2.4 接合 1-2.5 表面マイクロマシーニングと集積化 1-2.6 パッケージングと組立 1-2.7 設計・評価 1-3．MEMSの要素 1-3.1 センサ 1-3.2 アクチュエータ 1-3.3 エネルギー源 ・第2部 MEMSの応用 2-1．自動車への応用 2-2．ヘテロ集積化 (MEMSとLSIの融合)と次世代携帯機器 2-3．センサネットワーク・高機能センサ 2-4．光マイクロシステム 2-5．バイオ・医療用マイクロシステム 2-6．製造・検査装置 2-7．高度化と有効活用への道 ・質疑応答・名刺交換 ■ 対象者： ・半導体・エレクトロニクス分野にかかわる企業の方、研究者・学生の方、 ・ナノテクノロジープラットフォームをご利用の方、ご利用をご検討中の方、 ・ＭＥＭＳに関心のある方 ■ 募集定員：50名（先着順） ■ 受講料・テキスト代：無料 ■ 詳細・お申込み ものづくり革新センター FAIS微細加工PF HPよりお申込みください。 https://www.ksrp.or.jp/fais/mic/nano/news/archives/2018/1213_000000.html ■ 募集期間：2018年12月13日～2019年2月6日（定員になり次第〆切ます） ●ものづくり革新センター総合案内● http://www.ksrp.or.jp/fais/mic/ ●お問い合わせ● 公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS） ものづくり革新センター 担当：上野・冨田 E-mail：http://www.ksrp.or.jp/fais/mic/mailto.html Tel：093-695-3007
